1. কালার ডট পদ্ধতি: পরিমাপ করার জন্য পৃষ্ঠে সমানভাবে লাল সীসার পাউডার লাগান। একটি আদর্শ প্লেটে এটি ঘষার পরে, উজ্জ্বল দাগ প্রদর্শিত হবে। একটি 25mm × 25mm এলাকার মধ্যে, যদি দাগগুলি সমানভাবে বিতরণ করা হয় এবং অসংখ্য (যেমন, 20 পয়েন্টের চেয়ে বড় বা সমান), সমতলতা গ্রহণযোগ্য। এই পদ্ধতিটি দ্রুত রুক্ষ পরিমাপের জন্য উপযুক্ত, তবে সঠিকতা কম।
2. অপটিক্যাল ফ্ল্যাট হস্তক্ষেপ পদ্ধতি: একটি অপটিক্যাল ফ্ল্যাট টিপুন (সমতলতা<0.1λ) onto the surface to be measured to form an air wedge interference cavity. If straight, uniform interference fringes appear under monochromatic light, the flatness is good; if the fringes are curved, the error needs to be calculated:
বৃত্তাকার ফ্রিংজ: ত্রুটি মান=প্রান্তের সংখ্যা × λ/2 (λ হল আলোর তরঙ্গদৈর্ঘ্য)।
স্ট্রেইট ফ্রেঞ্জ: ত্রুটি মান=বক্রতা × প্রান্তের ব্যবধান/2।
এই পদ্ধতিটি ন্যানোমিটার-স্তরের নির্ভুলতা অর্জন করে এবং ছোট-বিমান পরিদর্শনের জন্য উপযুক্ত।
3. নির্দেশক পদ্ধতি: একটি রেফারেন্স হিসাবে একটি স্ট্যান্ডার্ড প্লেট ব্যবহার করে, একটি মাইক্রোমিটার দিয়ে বিন্দু দ্বারা পৃষ্ঠ বিন্দু পরিমাপ করুন। যদি সামঞ্জস্যের জন্য তিনটি-পয়েন্ট পদ্ধতি ব্যবহার করা হয়, তাহলে সর্বোচ্চ এবং সর্বনিম্ন রিডিংয়ের মধ্যে পার্থক্য হল ত্রুটির মান; ন্যূনতম জোন পদ্ধতিতে গাণিতিক গণনা প্রয়োজন। এটি উচ্চ নির্ভুলতা অফার করে কিন্তু পরিচালনা করা কষ্টকর।
4. কলিমেটর/লেভেল পদ্ধতি: একটি গ্রিডে সাজানো বিন্দুতে পরিমাপ করা হয় এবং রেফারেন্সের সাপেক্ষে প্রতিটি বিন্দুর বিচ্যুতি রেকর্ড করা হয়। ন্যূনতম বর্গক্ষেত্র পদ্ধতি বা সর্বনিম্ন বাউন্ডিং জোন পদ্ধতি ব্যবহার করে সমতলতার ত্রুটি গণনা করা হয়। বড়-ক্ষেত্র পরিদর্শনের জন্য উপযুক্ত, কিন্তু একটি স্থিতিশীল পরিবেশ প্রয়োজন৷
